Назначение
Тонкие полимерные пленки микронных и субмикронных толщин представляют большой интерес для современных технологий приборостроения, электротехники, точной механики и других отраслей промышленности. Это вызвано благоприятным, подчас уникальным сочетанием свойств в полимерных материалах: высокой химической стойкости, хороших диэлектрических характеристик, гидрофобности, низкого коэффициента трения, эластичности и ряда других показателей.
Устройство электронно-лучевого диспергирования предназначено для формирования полимерных покрытий в вакууме.
Описание и технические характеристики
Конструктивно устройство электронно-лучевого диспергирования состоит из:
- блока питания;
- электронно-лучевого прожектора.
Электронно-лучевой прожектор и блок питания позволяют формировать поток электронов с энергией и плотностью тока, достаточной для перевода материала мишени в активную газовою фазу.
Блок питания
Блок питания (БП) устройства электронно-лучевого диспергирования используется для подачи ускоряющего напряжения и тока накала в электронно-лучевой испаритель (ЭЛИ) вакуумной установки.
ЭЛИ совместно с БП используется для испарения в вакууме технологических материалов с последующим осаждением на детали.
В комплект входит силовой блок и комплект соединительных кабелей.
Электронно-лучевой прожектор
Электронно-лучевой прожектор с катодом прямого накала, позволяет формировать пучки электронов с плотностью тока I = 50?500 А/м2, энергией частиц E = 0,1?2,5 кэВ, площадью пятна S = (1?5)o10-4 м2.
Диапазон энергии электронов Е = 0,8:2,0 кэВ, использующийся при диспергировании органических и неорганических соединений, является оптимальным.
Управление прибором также осуществляется через элементы управления расположенные на передней консоли прибора.
Предлагается:
изготовление и поставка оборудования, техническое (гарантийное) обслуживание.
НИЛ "Физикохимия и технологии микро- и наноразмерных систем"
учреждения образования "Гомельский государственный университет имени Франциска Скорины", ул. Советская 104, г. Гомель, 246019, Республика Беларусь.
Tel: +(375 232) 57 82 53, Fax +(375 232) 60 30 02. E-mail: fedosenko@gsu.by
