Полирующая суспензия
на основе диоксида кремния
Предназначенa для
финишной полировки изделий оптики и электроники. В частности, применяется на
стадии финишной полировки пластин монокристаллического кремния.
ПРЕДСТАВЛЯЕТ СОБОЙ ультрадисперсную
коллоидную систему на основе диоксида кремния.
ОБЛАДАЕТ полирующей способностью
на изделиях оптики и электроники с нормальной скоростью съёма материала.
ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ:
Примеси, масс.%
|
Марка суспензии
|
СПС
- 5
|
СПС
- 53
|
СПС
- 8
|
СПС
- 81
|
СПС
- 54
|
железо
|
0,0002
|
0,0002
|
0,0002
|
0,00002
|
0,0003
|
натрий
|
0,4
|
0,4
|
0,0005
|
0,00005
|
0,0004
|
калий
|
0,00005
|
0,00005
|
0,0004
|
0,00004
|
0,00004
|
Стабилизирую-щее основание
|
NaOH, KOH
|
NaOH, KOH
|
этилендиамин
|
этилендиамин
|
-
|
Плотность, г/cм3
|
1,130-1,134
|
1,060-1,065
|
1,075-1,080
|
1,10-1,12
|
1,10-1,12
|
рН при 200С
|
9,5-10,9
|
9,5-10,9
|
11,8-12,0
|
12,5-12,8
|
6,5-7,0
|
Размер частиц
SiO2, нм
|
50-100
|
10-40
|
10-40
|
50-100
|
50-100
|
Содержание
SiO2,
масс.%
|
20,0
|
10,0
|
12,5
|
20,0
|
16,0
|
Внешний вид суспензии
|
Жидкость молочного цвета
|
Жидкость молочного цвета
|
Жидкость молочного цвета
|
Жидкость молочного цвета
|
Жидкость молочного цвета
|
Вязкость, МПа×с
|
1,8
|
1,25
|
1,25
|
1,7
|
1,7
|
Стадия использов-я
|
II
стадия
|
II
стадия
|
I стадия
|
I стадия
|
по
|
Реком.разбавление
|
1:10
|
1:5
|
1:3
|
1:5
|
требоаниям
|
рН после разбавл-я
|
10,5-10,6
|
10,5-10,6
|
11,8-11,9
|
12,2-12,3
|
заказчика
|
Плотность после
разбав-я, г/см3
|
1,010
|
1,010
|
1,015
|
1,010
|
-
|
Рекомендуемый
тип полиров-ка
|
сегаль или поливел
|
сегаль
|
политан
|
политан
|
сегаль, поливел, политан
и др.
|
Cрок годности,
месяцев, не менее
|
6
|
6
|
6
|
6
|
6
|
ПРЕДЛАГАЮТСЯ: поставка партий
суспензии на условиях предварительной оплаты, разработка технической и технологической
документации, оказание технической помощи по внедрению.
|